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未見光刻機,新凱來依舊引爆“中國芯”

發(fā)布時間:2025-10-19 11:38:25來源: 18518776650

萬里眼此次發(fā)布的該項新產(chǎn)品極大提升了國產(chǎn)示波器帶寬,僅次于國際上最高的110GHz,全球第二,國內(nèi)唯一,打破了西方《瓦森納協(xié)定》封鎖,是全球首個超高速智能示波器、全球首個全面屏示波器。

10月15日,深圳會展中心,2025灣區(qū)半導體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會(下稱“灣芯展”)剛開幕,1號館的深圳市新凱來技術(shù)有限公司(下稱“新凱來”)展臺前很快就擠滿了人,成了全場最熱鬧的地方之一。

很多人是沖著一個“傳聞”來的,記者在人群里都能聽到類似的議論,不少人伸長了脖子,想在展臺的模型和展板里,找到那臺傳說中的“驚喜”——光刻機。

這家成立僅幾年的公司,因其深圳市國資委全資控股的背景和此前在上海展會上一次拿出31款半導體設備“亮相”的動作,早已備受市場關(guān)注。

記者在現(xiàn)場轉(zhuǎn)了一圈,并沒有看到傳聞中的光刻機,展臺上陳列的是用“名山”命名的系列設備模型,包括刻蝕、薄膜、量測等環(huán)節(jié)的產(chǎn)品,一波又一波的參觀者擠在玻璃柜前拍照。

但現(xiàn)場的期待并非空穴來風。10月10日,深圳市為此屆灣芯展專門開了一場新聞發(fā)布會,深圳市發(fā)展和改革委員會主任郭子平在介紹展會亮點時,專門提到了新凱來,表示新凱來將在本屆博覽會上帶來“意想不到的驚喜”。

這番來自官方的“預告”,直接將市場的期待值拉滿。但既然“驚喜”不是光刻機,那么,這個被提前“劇透”的意想不到的驚喜,到底是什么呢?

“驚喜”

新凱來帶來的“驚喜”,拆開來看是兩件東西:一件是硬件,一件是軟件;一件用來“看”,一件用來“畫”。

先說那件用來“看”的硬件。在新凱來子公司萬里眼技術(shù)有限公司(下稱“萬里眼”)的獨立展臺上,那臺90GHz(吉赫茲)新一代超高速實時示波器被擺在最顯眼的位置。

示波器是什么?可以把它看作電子工程師的“眼睛”或者“顯微鏡”。萬里眼展臺的工作人員告訴記者,所有電子產(chǎn)品內(nèi)部,流動的都是看不見的電信號,信號跑得穩(wěn)不穩(wěn),有沒有出問題,全靠示波器這雙“眼睛”去看清楚。從芯片研發(fā),到手機、汽車、服務器的生產(chǎn)測試,都離不開它。

這雙“眼睛”的“視力”好不好,一個關(guān)鍵指標是帶寬,帶寬越高,能看清的信號速度就越快、越精細。

在萬里眼這臺機器出來之前,國內(nèi)廠商能量產(chǎn)的示波器,帶寬基本在20GHz以下。萬里眼此次發(fā)布的該項新產(chǎn)品極大提升了國產(chǎn)示波器帶寬,僅次于國際上最高的110GHz,全球第二,國內(nèi)唯一,打破了西方《瓦森納協(xié)定》封鎖,是全球首個超高速智能示波器、全球首個全面屏示波器。

也就是說,當萬里眼直接拿出一臺90GHz帶寬的設備時,相當于把國產(chǎn)示波器的關(guān)鍵性能指標,一下子往前推了好幾代。

“比如7nm(納米)的AI芯片,它的高速接口一般要用到60GHz左右的實時示波器,更先進的工藝節(jié)點則可能會需要到90GHz左右的實時示波器。”在發(fā)布會后的采訪中,萬里眼CEO劉桑向記者解釋了這臺儀器的價值。

簡單來說,沒有足夠精密的測試工具,更先進芯片的研發(fā)就很難進行。那么,萬里眼是如何突破困難做出這項產(chǎn)品的呢?

“這其實不是一個單點的技術(shù)問題。”面對記者的疑問,CEO劉桑看起來更像個技術(shù)專家,聊起產(chǎn)品滔滔不絕。他告訴經(jīng)濟觀察報記者,一臺高端示波器,背后涉及關(guān)鍵器件、基礎材料、制造工藝、系統(tǒng)集成、軟件、智能算法、協(xié)議能力等七個關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域,萬里眼的做法,是把這七個領(lǐng)域都當作“根技術(shù)”去投入,最終依靠強大的系統(tǒng)集成和工程平衡能力,把事情做成。

“我們團隊系統(tǒng)的整合和集成能力是非常強大的。我們深入地去了解器件、材料、工藝的優(yōu)勢和需要提升的地方,通過系統(tǒng)整合的方式,提升它的健壯性、可靠性、一致性、穩(wěn)定性。”劉桑說。

另一個讓人好奇的地方,是做這件事的人。在這樣一個需要長期技術(shù)積累的領(lǐng)域,人們通常會想到一群頭發(fā)花白的資深專家,但據(jù)劉桑透露,萬里眼示波器整個研發(fā)團隊的平均年齡,只有二十八歲左右。

“這么年輕的團隊,你信得過嗎?”在現(xiàn)場,有媒體記者如此提問。面對這個問題,劉桑笑了,他說,這支隊伍里有技術(shù)專家,有年輕的博士,也有剛畢業(yè)的學生,但大家的目標非常聚焦,“整個團隊的唯一目標,就是要把卡脖子的難題攻破”。

他講起團隊的研發(fā)狀態(tài):“在過去一段時間里,我們對其中一個子模塊在大概一年時間里進行了20多次迭代,包括多輪芯片流片。團隊就是在這樣不斷試錯成長的過程中發(fā)展起來的。”

劉桑還講了一個故事,有個中國科學院蘭州近代物理所的老師,在一個周五晚上給他打電話,說遇到一個測試難題,需要一臺同步信號特別好的機器,但他找遍了國內(nèi)甚至聯(lián)系了海外企業(yè),都沒有能滿足他要求的產(chǎn)品。

“當時他已經(jīng)到機場了,背著幾根幾十米長的線纜,來找我們幫他測試。周末我們就安排了測試。”劉桑說,“我們的使命就是要去解決中國科技界和產(chǎn)業(yè)界遇到的困難。”

除了對標海外產(chǎn)品的技術(shù)指標,這臺新儀器在操作體驗上也花了不少心思,記者在現(xiàn)場注意到,該儀器的屏幕是18.5寸的全面屏,可以用手指像玩手機一樣拖動波形。

“曾經(jīng)有一個外籍的工程師,他用了以后,給我們點贊,他認為我們的產(chǎn)品是他所用過的全世界所有的儀器里面體驗最好的。”劉桑說,很多用慣了西方儀器的工程師,上手操作不到半天,就能很順暢地使用萬里眼的設備。

如果說萬里眼的這臺示波器,是用來測試和檢驗物理世界的一把“硬尺子”,那么新凱來帶來的另一個驚喜,則是用來描繪和設計數(shù)字世界的一支“軟畫筆”。

這支“筆”,來自新凱來的另一家子公司——啟云方科技有限公司(下稱“啟云方”)。啟云方在灣芯展首日上午,發(fā)布了兩款擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)電子工程EDA(電子設計自動化)軟件。

EDA軟件一直被稱為“芯片之母”,是工程師們用來設計芯片和電路板(PCB)的“畫筆”和“計算器”。

這支“筆”的技術(shù)含量極高,長期以來,全球市場一直由美國的楷登電子(Cadence)、新思科技(Synopsys)和德國西門子EDA三家公司壟斷。

根據(jù)啟云方在現(xiàn)場公布的信息,其發(fā)布的這套國產(chǎn)EDA軟件在多個關(guān)鍵指標上,已達到業(yè)界一流水準,其產(chǎn)品性能較行業(yè)標桿提升30%,使用其軟件進行產(chǎn)品硬件開發(fā)的周期能夠縮短40%,同時,軟件帶有的智能輔助設計功能,可以讓設計“一版成功”的幾率提升30%。這些數(shù)據(jù)的背后,指向的是企業(yè)研發(fā)效率的提升和試錯成本的降低。

為了實現(xiàn)這些指標,軟件本身具備了支持超大規(guī)模、超復雜電路設計的能力。其中,“多人并行協(xié)同設計”是一項關(guān)鍵功能,這意味著,面對一塊復雜的電路板,多名工程師可以像在線編輯同一份文檔一樣,同時在上面分工與協(xié)作,設計過程中的任何修改,團隊成員都可以隨時隨地在線檢視。

“今天發(fā)布的相關(guān)產(chǎn)品目前已投入市場,已有超過2萬名工程師使用,目前下游市場反饋良好。”啟云方電子工程EDA BU(業(yè)務單元)總裁袁夷在現(xiàn)場介紹時,給出了產(chǎn)品商用層面的一個具體數(shù)據(jù)。

除了工具本身,啟云方還在同步構(gòu)建產(chǎn)品生態(tài)。記者在現(xiàn)場了解到,啟云方這套EDA軟件工具,兼容多款國產(chǎn)操作系統(tǒng)、數(shù)據(jù)庫、中間件等一系列平臺軟件。

換言之,它不是一個孤立的單點工具,而是從一開始就致力于融入一個自主可控的國產(chǎn)工業(yè)軟件體系,對于國內(nèi)產(chǎn)業(yè)界而言,這種實踐為整個工業(yè)軟件產(chǎn)業(yè)的自主化提供了可供參考的路徑。

“名山”

驚喜之外,新凱來展臺的主角,是一排用玻璃罩起來的設備模型。

這些是新凱來的主力產(chǎn)品,不像子公司那樣只聚焦單個領(lǐng)域,在這里,記者看到了覆蓋半導體制造多個核心環(huán)節(jié)的裝備,每一款都用中國的名山大川命名。

根據(jù)記者在現(xiàn)場了解,這批設備分為工藝裝備和檢測裝備兩大類,共16款。

其中,在薄膜沉積(在芯片上生長出極薄材料層的工藝)設備方面,展出了三款,分別是PVD普陀山、ALD阿里山和CVD長白山。

PVD(物理氣相沉積)設備,可以理解為在真空環(huán)境里,把金屬等材料“蒸發(fā)”成原子,再均勻地“鍍”到芯片上,形成導電的金屬薄膜;ALD(原子層沉積)設備則更為精細,它能以單個原子的厚度為單位,一層一層地在芯片上“堆疊”出所需的功能薄膜;CVD(化學氣相沉積)設備,則是通過特定的化學氣體在芯片表面發(fā)生反應,來生成絕緣或?qū)щ姷墓腆w薄膜。

在刻蝕(根據(jù)電路圖在芯片上“雕刻”出溝槽和線條的工藝)設備方面,展出了ETCH(金屬蝕刻)武夷山。

在擴散產(chǎn)品方面,則有EPI峨眉山和RTP三清山。EPI(外延生長)設備,主要用于在硅片上再生長出一層新的、晶體結(jié)構(gòu)完整的單晶硅薄膜,這是制造高性能芯片的基礎工序。RTP(快速熱處理)設備,則像一個超高精度的“烤箱”,通過對芯片進行極快速、均勻的升溫和降溫,來完成對注入雜質(zhì)的激活和修復晶格損傷等關(guān)鍵步驟。

此外,新凱來還展出了光學檢測、光學量測、物理與X射線量測等多個系列的產(chǎn)品,包括岳麓山、天門山、沂蒙山等。

從薄膜、刻蝕到檢測,新凱來展出的設備覆蓋了芯片制造流程里最關(guān)鍵的一部分。

在新凱來官方網(wǎng)站上,有這樣一句對公司模式的描述:“聯(lián)合了眾多國內(nèi)半導體制造設備和零部件合作伙伴,為國內(nèi)半導體設備廠、FAB廠(芯片制造廠)、電子電器設備廠、研究機構(gòu)提供先進的解決方案。”

告別單打獨斗,攜手產(chǎn)業(yè)鏈“抱團”創(chuàng)新,這或許能夠在一定程度上解釋新凱來的發(fā)展為何如此之快。

“我們團隊系統(tǒng)的整合和集成能力是非常強大的。”在解釋萬里眼公司如何突破高端示波器時,其CEO劉桑曾反復強調(diào)這一點。這個思路,同樣適用于新凱來公司的多產(chǎn)品線布局,他認為,在很多尖端領(lǐng)域,中國在基礎材料、工藝和器件上,不一定每一個單點都是最強的,但可以通過強大的系統(tǒng)工程能力,去整合、去平衡,做出有競爭力的產(chǎn)品。

萬里眼銷售總經(jīng)理劉正寶亦認為,中國很多行業(yè)其實已經(jīng)走在了世界的最前沿,客戶遇到的很多測試場景,在業(yè)界都是新的。他說:“作為本土企業(yè)來講,我們能做到快速迭代,快速更新,快速地響應客戶需求。這也是我們的優(yōu)勢,我覺得我們的客戶也會考慮到這一點,因為現(xiàn)在科技迭代太快了,客戶也需要一個能快速響應的有能力的儀器廠家跟著他們一起向前走。”

劉桑亦在現(xiàn)場表示,萬里眼相關(guān)產(chǎn)品在研發(fā)過程中,一個技術(shù)模塊,能在一年時間里迭代超過20次,其中包含多輪芯片流片(指在芯片設計完成后,將設計圖送到工廠進行首次生產(chǎn)驗證),這種試錯速度和強度,是其能夠快速追趕的基礎。

除了內(nèi)部的組織和工程方法,外部的市場環(huán)境也提供了一個特殊的機遇。

“近年來,國產(chǎn)設備、材料與EDA工具的協(xié)同進步顯著,三者相互驗證、共同迭代,形成了正向反饋循環(huán)。”10月15日,CINNO Research高級分析師王菁在接受記者采訪時表示。

她認為,新凱來這類公司之所以能快速成長,與國內(nèi)龐大的應用市場緊密相關(guān)。“在人工智能推理芯片、自動駕駛計算芯片、車規(guī)級功率半導體以及數(shù)據(jù)中心相關(guān)芯片等領(lǐng)域,中國最有可能實現(xiàn)‘并跑’甚至‘領(lǐng)跑’。”

王菁進一步解釋稱,這些領(lǐng)域恰好與國內(nèi)發(fā)展最快的新能源汽車、人工智能等市場緊密結(jié)合,這為新技術(shù)、新產(chǎn)品的快速迭代和商業(yè)化落地提供了獨特的優(yōu)勢,創(chuàng)造了一個難得的機遇窗口。另外,巨大的市場需求,反過來也“喂”飽了上游的設備廠商,給了他們更多驗證和改進產(chǎn)品的機會。

工信部信息通信經(jīng)濟專家委員會委員盤和林則從一個更宏觀的層面,解釋了這種現(xiàn)象。10月15日,他在接受記者采訪時表示,中國正在采用一種新型舉國體制,其核心是“通過集中企業(yè)和市場主體的創(chuàng)新力量方式,逐個擊破技術(shù)關(guān)口,逐步實現(xiàn)了芯片半導體全鏈條的自主可控”。

盤和林認為,這種模式增強了中國在技術(shù)博弈中的底氣,讓產(chǎn)業(yè)不再處處受制于人。

不過,他也指出,中國目前在成熟制程芯片的制造和設計研發(fā)方面已經(jīng)走在全球前列,但在更先進的半導體領(lǐng)域,彎道超車的難度很大,大多數(shù)環(huán)節(jié)仍處于“并跑”和“跟跑”的狀態(tài),例如先進制程的光刻機、高端EDA軟件等。

不止新凱來

新凱來相關(guān)展臺的熱鬧,只是這屆灣芯展的一個切面。

走進展館,從1號館到9號館,能看到一個更完整的圖景。記者的一個很直觀的感受是,中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,正從過去依靠個別企業(yè)在單一環(huán)節(jié)的突破,轉(zhuǎn)向一種更系統(tǒng)、更全面的打法。

在展會現(xiàn)場,這種變化體現(xiàn)在各個角落。

基礎材料是所有芯片制造的起點,在北京有研億金新材料股份有限公司的展臺,其工作人員向記者介紹稱,公司此次展示的是用于集成電路先進制程的高純金屬濺射靶材。他表示,公司的高純銅、鉭、鈷等靶材的研究,已能滿足90納米至5納米邏輯、存儲等工藝的需求。

有了材料,還需要核心設備。

在來自沈陽的拓荊科技(688072.SH)展臺上,其工作人員介紹,該公司主力的等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備、原子層沉積(ALD)設備等多種半導體專用設備,已進入國內(nèi)二十多個地區(qū)的七十多條生產(chǎn)線。另外,為了跟上市場需求,該公司正在加速擴產(chǎn),投資近十億元的上海二廠已在2025年6月啟用,同時還在投入十多億元籌建沈陽二廠。

深圳本土的設備廠商大族激光(002008.SZ)旗下的“大族半導體”,也展示了多款設備,甚至包括全自動接近式光刻機。

其現(xiàn)場工作人員告訴記者,該公司目前在前沿的TGV(玻璃通孔)技術(shù)上已有布局,相關(guān)的飛秒激光增強玻璃刻蝕技術(shù)產(chǎn)品已經(jīng)實現(xiàn)順利出貨。

另外,當芯片制程越來越接近物理極限,單純把晶體管做小變得愈發(fā)困難,如何把不同功能的小芯片(Chiplet)像搭積木一樣,通過先進封裝技術(shù)拼接在一起,成了行業(yè)的新方向。

在2號館,珠海硅芯科技有限公司就牽頭打造了一個“Chiplet與先進封裝生態(tài)專區(qū)”。

據(jù)記者了解,這個專區(qū)聯(lián)合了近30家來自芯片設計、封裝制造、科研院校和產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的單位,系統(tǒng)性地展示了國內(nèi)在2.5D/3D EDA工具、芯粒庫生態(tài)建設等方向的進展。

這種抱團合作的趨勢,在芯片設計領(lǐng)域同樣明顯。

在國產(chǎn)GPU(圖形處理器)企業(yè)芯瞳半導體技術(shù)(廈門)有限公司(下稱“芯瞳”)的展臺,其重點展出了“塵起”系列國產(chǎn)GPU產(chǎn)品,該系列基于公司的完全自主知識產(chǎn)權(quán)架構(gòu),并已支持主流國產(chǎn)操作系統(tǒng)。

芯瞳并沒有孤立地展示芯片性能,而是攜手多家國產(chǎn)計算機廠商,聯(lián)合展示了基于“塵起”GPU的多場景解決方案。記者在現(xiàn)場演示區(qū)看到,搭載芯瞳GPU的國產(chǎn)計算機,在運行復雜的圖形設計、大規(guī)模數(shù)據(jù)處理等程序時,表現(xiàn)流暢。現(xiàn)場工作人員介紹,其產(chǎn)品和方案可應用于政務辦公、工業(yè)設計、數(shù)字孿生等多個領(lǐng)域。

這種主動與產(chǎn)業(yè)鏈伙伴協(xié)同的打法,在芯瞳近期的業(yè)務動作中體現(xiàn)得更為具體。

就在不久前,芯瞳宣布,其GPU產(chǎn)品已完成與龍芯中科(688047.SH)的桌面處理器平臺的兼容互認證。這意味著,個人電腦和工作站中最重要的“CPU+GPU”這對核心搭檔,在國產(chǎn)化道路上又多了一個成熟的選項。

不僅如此,芯瞳還與中科曙光(603019.SH)旗下的曙光網(wǎng)絡達成了戰(zhàn)略合作,雙方計劃圍繞工業(yè)控制領(lǐng)域,共同打造基于國產(chǎn)高性能GPU的解決方案。

當然,最終所有基礎環(huán)節(jié)的進步,都會體現(xiàn)在具體的芯片產(chǎn)品上。

在第三代半導體材料領(lǐng)域,深圳方正微電子有限公司展示了其作為IDM(整合元件制造商,指從設計、制造到封裝測試都自行完成的模式)企業(yè)的布局。其市場總監(jiān)敖立滿告訴記者,該公司主要從事SiC(碳化硅)和GaN(氮化鎵)晶圓和器件的研發(fā)制造,其SiC芯片已在國產(chǎn)新能源乘用車的主驅(qū)系統(tǒng)上實現(xiàn)大規(guī)模應用,是該領(lǐng)域的國內(nèi)第一。

而在智能汽車AI芯片領(lǐng)域,深圳市歐冶半導體有限公司(下稱“歐冶半導體”)也展示了其龍泉560系列AI SoC(系統(tǒng)級芯片)。該公司公共事務副總裁史禎寰介紹,該系列芯片覆蓋1Tops至40Tops的算力,其NPU(嵌入式神經(jīng)網(wǎng)絡處理器)的計算效率比國外同類芯片高出50%以上,可應用于智能車燈、行泊一體輔助駕駛等多種場景。

從材料、設備、EDA軟件,再到先進封裝和最終的芯片應用,灣芯展上呈現(xiàn)的,不再是零散的單點成果,而是一個正在快速成形的、相互關(guān)聯(lián)的產(chǎn)業(yè)拼圖。

“產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效率確有實質(zhì)性提升,從過去的‘被動適配’轉(zhuǎn)向了‘主動對接’。”王菁告訴記者。

根據(jù)她的觀察,一些值得推廣的合作模式正在增多,例如,以系統(tǒng)廠商或整機企業(yè)為龍頭,牽引芯片設計與制造;構(gòu)建“虛擬IDM”聯(lián)盟,共享技術(shù)與產(chǎn)能;以及上下游企業(yè)共建聯(lián)合研發(fā)平臺,共同定義技術(shù)規(guī)格,提前鎖定產(chǎn)能,共擔風險,加速系統(tǒng)級解決方案的成熟等。

王菁認為,正是這種協(xié)同,讓設備、材料與EDA工具之間,得以“相互驗證、共同迭代,形成了正向反饋循環(huán)”,整個產(chǎn)業(yè)的韌性和戰(zhàn)略主動性因此得到增強。

她表示,除了繼續(xù)在硬件技術(shù)上投入,中國半導體產(chǎn)業(yè)下一步最需要強化的是“軟實力”,“不僅要培養(yǎng)和吸引頂尖的領(lǐng)軍人才與復合型工程師,更要構(gòu)建一個能夠滋養(yǎng)創(chuàng)新、鼓勵試錯、保護知識產(chǎn)權(quán)、促進知識共享的良性產(chǎn)業(yè)生態(tài)”。

在王菁看來,國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,未來尚需要在國家層面加強統(tǒng)籌規(guī)劃,引導各地基于自身優(yōu)勢精準定位,例如深圳及大灣區(qū)強化芯片設計與應用創(chuàng)新,長三角突出先進制造與產(chǎn)業(yè)鏈綜合配套,京津冀依托科研優(yōu)勢聚焦原始創(chuàng)新,從而形成分工明確、優(yōu)勢互補的“全國一盤棋”產(chǎn)業(yè)格局。

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